Performance Specifications
¡¡ |
Axis |
¡¡ |
X Axis (Bottom) |
¡¡ |
Y Axis (Upper) |
¡¡ |
Effective Stroke |
¡¡ |
480 mm |
¡¡ |
450 mm |
¡¡ |
Maximum Velocity |
¡¡ |
800 mm/sec |
¡¡ |
800 mm/sec |
¡¡ |
Maximum Acceleration |
¡¡ |
0.5 G |
¡¡ |
0.5 G |
¡¡ |
Scale Resolution |
¡¡ |
0.2 um / count |
¡¡ |
0.2 um / count |
¡¡ |
Position Accuracy |
¡¡ |
¡¾ 1.0 µm (After Error Mapping) |
¡¡ |
¡¾ 1.0 µm (After Error Mapping) |
¡¡ |
Position Repeatability |
¡¡ |
¡¾ 0.5 µm |
¡¡ |
¡¾ 0.5 µm |
¡¡ |
Straightness (Horizontal)
of Effective Stroke
|
¡¡ |
¡¾ 2.5 µm |
¡¡ |
¡¾ 2.5 µm |
¡¡ |
Straightness (Vertical) of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 2.5 µm |
¡¡ |
¡¾ 2.5 µm |
¡¡ |
Yawing of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 5 arc-sec |
¡¡ |
¡¾ 4 arc-sec |
¡¡ |
Pitching of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 5 arc-sec |
¡¡ |
¡¾ 4 arc-sec |
¡¡ |
orthogonality |
¡¡ |
¡¾ 5 arc-sec |
ÀåºñÀÇ ¾ÈÁ¤¼º°ú Á¤µµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇØ ¼®Á¤¹Ý¿¡ ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ±¸¼ºÇÑ Á¤¹Ð ½ºÅ×ÀÌÁöÀÌ´Ù.
|
ºÐ¸®µÈ ¼®Á¤¹Ý¿¡ °¢°¢ÀÇ XÃà°ú YÃàÀÇ Á¶ÇÕ ÇüÅ·Π±¸¼ºµÈ Á¤¹Ð ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁöÀÌ´Ù.
|
Á¤¼Ó ¿îÀü°ú Á¤¹ÐÇÑ À§Ä¡ Á¤¹Ð Á¦¾î°¡ ¿ì¼öÇÏ¿©, Á¤¹Ð Vision °Ë»ç¿ë ½ºÅ×ÀÌÁö ±¸¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
|
|