Performance Specifications
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Axis |
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X Axis (Bottom)
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Y Axis (Upper / Dual) |
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Effective Stroke |
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250 mm
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1100 mm |
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Maximum Velocity |
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1,100 mm/sec |
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1,100 mm/sec |
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Maximum Acceleration |
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0.6 G |
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0.6 G |
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Scale Resolution |
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0.1 ~ 1.0 um / count |
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0.1 ~ 1.0 um / count |
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Position Accuracy |
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¡¾ 5 µm (Non-Error Mapping) |
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¡¾ 5 µm (Non-Error Mapping) |
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Position Repeatability |
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¡¾ 1.0 µm |
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¡¾ 1.0 µm |
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Straightness (Horizontal)
of Effective Stroke
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¡¾ 5 µm |
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¡¾ 5 µm |
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Straightness (Vertical) of Effective Stroke |
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¡¾ 5 µm |
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¡¾ 5 µm |
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Yawing of Effective Stroke |
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¡¾ 10 arc-sec |
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¡¾ 8 arc-sec |
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Pitching of Effective Stroke |
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¡¾ 10 arc-sec |
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¡¾ 8 arc-sec |
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orthogonality |
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¡¾ 5 arc-sec
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ÀåºñÀÇ Á¤µµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇÏ¿©, Profile·Î ±¸¼ºµÈ Gantry ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ¼®Á¤¹Ý°ú Á¶ÇÕÇÑ Á¤¹Ð ½ºÅ×ÀÌÁö ÀÌ´Ù.
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Profile ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ Æ¯¼º»ó ´ÜÃàºÎÅÍ ´ÙÃà, ¶Ç´Â Gantry ÇüÅÂÀÇ ±â±¸ ±¸¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
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Àåºñ ±¸¼º¿¡ µû¶ó 100 mm ~ 3,000 mmÀÇ Stroke°¡ °¡´ÉÇϸç, Àåºñ Á¤µµ¿¡ µû¶ó ÃÖ´ë 0.1 micronÀÇ ºÐÇØ´ÉÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
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