Performance Specifications
¡¡ |
Axis |
¡¡ |
X Axis (Bottom) |
¡¡ |
Y Axis (Upper / Dual) |
¡¡ |
Effective Stroke |
¡¡ |
920 mm |
¡¡ |
760 mm |
¡¡ |
Maximum Velocity |
¡¡ |
1,000 mm/sec |
¡¡ |
1,000 mm/sec |
¡¡ |
Maximum Acceleration |
¡¡ |
0.5 G |
¡¡ |
0.5 G |
¡¡ |
Scale Resolution |
¡¡ |
0.1 ~ 1.0 um / count |
¡¡ |
0.1 ~ 1.0 um / count |
¡¡ |
Position Accuracy |
¡¡ |
¡¾ 5 µm (Non-Error Mapping) |
¡¡ |
¡¾ 5 µm (Non-Error Mapping) |
¡¡ |
Position Repeatability |
¡¡ |
¡¾ 0.5 µm |
¡¡ |
¡¾ 0.5 µm |
¡¡ |
Straightness (Horizontal) of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 3 µm |
¡¡ |
¡¾ 3 µm |
¡¡ |
Straightness (Vertical) of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 3 µm |
¡¡ |
¡¾ 3 µm |
¡¡ |
Yawing of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 7 arc-sec |
¡¡ |
¡¾ 6 arc-sec |
¡¡ |
Pitching of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 7 arc-sec |
¡¡ |
¡¾ 6 arc-sec |
¡¡ |
orthogonality |
¡¡ |
¡¾ 5 arc-sec |
ÀåºñÀÇ Á¤µµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇÏ¿©, Profile·Î ±¸¼ºµÈ Gantry ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ¼®Á¤¹Ý°ú Á¶ÇÕÇÑ Á¤¹Ð ½ºÅ×ÀÌÁö ÀÌ´Ù.
|
Profile ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ Æ¯¼º»ó ´ÜÃàºÎÅÍ ´ÙÃà, ¶Ç´Â Gantry ÇüÅÂÀÇ ±â±¸ ±¸¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
|
Àåºñ ±¸¼º¿¡ µû¶ó 100 mm ~ 3,000 mmÀÇ Stroke°¡ °¡´ÉÇϸç, Àåºñ Á¤µµ¿¡ µû¶ó ÃÖ´ë 0.1 micronÀÇ ºÐÇØ´ÉÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
|
|