Performance Specifications
¡¡ |
Axis |
¡¡ |
X Axis (Bottom) |
¡¡ |
Y Axis (Upper / Dual) |
¡¡ |
Effective Stroke |
¡¡ |
700 mm |
¡¡ |
40 mm |
¡¡ |
Maximum Velocity |
¡¡ |
500 mm/sec |
¡¡ |
500 mm/sec |
¡¡ |
Maximum Acceleration |
¡¡ |
0.3 G |
¡¡ |
0.3 G |
¡¡ |
Scale Resolution |
¡¡ |
0.2 um / count |
¡¡ |
0.2 um / count |
¡¡ |
Position Accuracy |
¡¡ |
¡¾ 3.0 µm (Non-Error Mapping) |
¡¡ |
¡¾ 3.0 µm (Non-Error Mapping) |
¡¡ |
Position Repeatability |
¡¡ |
¡¾ 0.5 µm |
¡¡ |
¡¾ 0.5 µm |
¡¡ |
Straightness (Horizontal) of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 4 µm |
¡¡ |
¡¾ 2 µm |
¡¡ |
Straightness (Vertical) of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 4 µm |
¡¡ |
¡¾ 2 µm |
¡¡ |
Yawing of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 3 arc-sec |
¡¡ |
¡¾ 3 arc-sec |
¡¡ |
Pitching of Effective Stroke |
¡¡ |
¡¾ 3 arc-sec |
¡¡ |
¡¾ 3 arc-sec |
¡¡ |
orthogonality |
¡¡ |
¡¾ 3 arc-sec |
ÀåºñÀÇ ¾ÈÁ¤¼º°ú Á¤µµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇØ ¼®Á¤¹Ý¿¡ ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁö¸¦ ±¸¼ºÇÑ Á¤¹Ð ½ºÅ×ÀÌÁöÀÌ´Ù.
|
Granite Base·Î ±¸¼ºÇÏ¿© ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ³ô¿´À¸¸ç, Á¤¹Ð Ball Screw¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ZÃà µð¹ÙÀ̽º·Î ±¸¼ºÇÑ ¸®´Ï¾î ½ºÅ×ÀÌÁöÀÌ´Ù.
|
Á¤¼Ó ¿îÀü°ú °í¼Ó ¿îÀüÀÇ Á¤¹ÐÇÑ À§Ä¡ Á¤¹Ð Á¦¾î°¡ ¿ì¼öÇÏ¿©, Á¤¹Ð Vision °Ë»ç¿ë ½ºÅ×ÀÌÁö ±¸¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
|
|